SEMI S2的对象是针对半导体制程设备，关于环境、建康、安全方面的标准，也即为EHS标准，因为半导体行业涉及到很多特种气体、化学品及电气、厂务、游离及非游离的辐射，因此对设备厂商在设计中引入EHS的标准就极端重要，如果处理不好，下游用户在使用的时候就很容易导致事故甚至灾难，我在学习SEMI标准的时候，经常会联想到1986年的切尔诺贝利和2011年的福岛核电站发生的事故，里面很多涉及到压力、有毒气体、温度、核辐射的场面。实际半导体工厂基本可以类比成一个大的化工厂，里面存在各式各样的潜在风险，那么按照什么样的标准来组织、管理、控制及防范这些风险内。SEMI S2给出了具体的答案。
1. 认证标准：
SEMI 标准中有材料（M 系列） 、设备（F 系列）、平板显示器（D 系列）、跟踪性（T系列）、
SEMI认证及其适用对象
半导体设备和材料国际组织（SEMI）是服务于电子行业制造供应链的全球行业协会。SEMI已经制定了一系列行业特定的标准和安全准则，以促进半导体和平板制造的最佳实践。尽管没有法定义务满足SEMI标准或准则，但购买者越来越频繁地要求将它们用于安全性。大多数代工厂和晶圆厂运营商要求S2报告配备新设备。
SEMI标准及认证内容：
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名称 |
内容 |
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SEMI S1 |
装置安全标签的安全指南 Safety Guideline for Equipment Safety Labels |
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SEMI S2 |
半导体生产装置的环境、健康、安全 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment |
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SEMI S3 |
过程液体加热系统的安全性 Safety Guideline for Process Liquid Heating Systems |
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SEMI S4 |
橱柜收纳高压气筒的隔离／分离 Safety Guideline for the Separation of Chemical Cylinders Contained in Dispensing Cabinets |
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SEMI S5 |
气体的流量限制设备安全指南 Safety Guideline for Sizing and Identifying Flow Limiting Devices for Gases |
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SEMI S6 |
半导体制造设备的通风系统的 EHS 指南 EHS Guideline for Exhaust Ventilation of Semiconductor Manufacturing Equipment |
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SEMI S7 |
评估人员和评估公司的资格 Safety Guideline for Evaluating Personnel and Evaluating Company Qualifications |
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SEMI S8 |
半导体生产装置的人机工程学 Safety Guidelines for Ergonomics Engineering of Semiconductor Manufacturing Equipment |
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SEMI S10 |
风险评估和过程安全指南 Safety Guideline for Risk Assessment and Risk Evaluation Process |
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SEMI S12 |
工厂设备的去污的环境，健康和安全指南 Environmental, Health and Safety Guideline for Manufacturing Equipment Decontamination |
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SEMI S13 |
为半导体设备用户提供的关于环境，健康和安全指南的文件 Environmental, Health and Safety Guideline for Documents Provided to the Equipment User for Use With Manufacturing Equipment. |
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SEMI S14 |
对半导体生产装置的火灾风险评估和降低的安全指南 Safety Guidelines for Fire Risk Assessment and Mitigation for Semiconductor Manufacturing Equipment |
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SEMI S15 |
有毒及易燃气体的检测系统评价 Safety Guidelines for the Evaluation of Toxic and Flammable Gas Detection Systems |
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SEMI S16 |
半导体设备设计时降低设备生命周期到期对环境影响的标准 Guide for Semiconductor Manufacturing Equipment Design for Reduction of Environmental Impact at End of Life |
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SEMI S17 |
无人驾驶传送系统（UTV）的安全标准 Safety Guideline for Unmanned Transport Vehicle (UTV)System |
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SEMI S18 |
硅烷易燃硅化合物的环境、健康和安全标准 Environmental, Health, and Safety Guideline for Silane Flammable Silicon Compounds |
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SEMI S19 |
设备安装、维护和服务人员培训的安全标准 Saty Guideline for Training of Manufacturing Equipment Installation, Maintenance and Service Personnel |
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SEMI S21 |
工人保护安全标准 Safety Guideline for Worker Protection |
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SEMI S22 |
半导体生产装置的电气设计安全指南 Safety Guideline for the Electrical Design of Semiconductor Manufacturing Equipment |
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SEMI S23 |
半导体制程设备能源，应用和材质的使用功效 Guide for energy, Utilities, and materials use efficiency of semiconductor manufacturing equipment |
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SEMI S24 |
多雇主工作区域的安全标准 Safety Guideline for Multi-Employer Work Areas |
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SEMI S25 |
过氧化氢的储存及处理系统的安全标准 Safety Guideline for Hydrogen Peroxide Storage & Handling Systems |
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SEMI S26 |
FPD制造系统的环境、健康和安全标准 Environmental, Health, and Safety Guideline for FPD Manufacturing System |
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SEMI S27 |
环境、健康和安全报告内容安全标准 Safety Guideline for the Contents of Environmental, Safety, and Health (ESH) Evaluation Reports |
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SEMI S28 |
半导体设备内机器人和负载端口的安全标准 Safety Guideline for Robots and Load Ports Intended for Use in Semiconductor Manufacturing Equipment |
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SEMI S29 |
氟化温室气体（F-GHG）降低和排放标准 Guide for Fluorinated Greenhouse Gas (F-GHG) Emission Characterization and Reduction |
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SEMI F42 |
半导体设备电压暂降抗扰度测试方法 Test method for semiconductor processing equipment voltage sag Immunity |
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SEMI F47 |
半导体设备电压暂降抗扰度测试规格 Specification for semiconductor processing equipment voltage sag immunity |
SEMI S2认证和遵守法规的途径
对于制造商而言，SEMI安全的核心是S2，即《半导体制造设备的环境，健康和安全指南》。
实际上，其他产品安全准则可以视为支持S2。面向职业健康和安全的指南通常与制造商无关。
SEMI S2认证指南是由SEMI行业的领导者制定的，以确保每台设备都符合法规要求，并经过严格的安全标准检查。主题包括消防，电气危险防护，减轻机械危险，化学，辐射，噪声和人体工程学危险，通风要求，紧急停机程序，排气规格，危险警告警报和标签，文件要求等。
S2评估通常是买方作为保障的要求，并且可以作为出售的条件。
SEMI S2认证评估
在电气/机械安全，化学暴露评估，通风，噪声，电离辐射，非电离辐射，激光，环境影响评估以及SEMI S2认证指南要求的其他专业领域通常SEMI S2评估将需要以下评估以支持核心S2评估：
提供给用户的文件
危险警告标签
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
加热化学浴
人机工程学和人为因素
危险能量隔离
机械设计
抗震保护
自动化物料搬运员
环境考量
排气通风
化学制品
电离辐射
非电离辐射和场
雷射
声压级
